您的位置:天津微电机网 > 首页>>天津微电机知识>>新闻内容

微型机械加工技术国内现状

来源: 作者: 点击:

    我国在科技部、国家自然基金委,教育部和总装备部的资助下,一直在跟踪国外的微型机械研究,积极开展MEMS的研究。现有的微电子设备和同步加速器为微系统提供了基本条件,微细驱动器和微型机器人的开发早已列入国家863高技术计划及攀登计划B中。已有近40个研究小组,取得了以下一些研究成果。广东工业大学与日本筑波大学合作,开展了生物和医用微型机器人的研究,已研制出一维、二维联动压电陶瓷驱动器,其位移范围为10μm×10μm;位移分辨率为0.01μm,精度为0.1μm,正在研制6自由度微型机器人;长春光学精密机器研究所研制出直径为Φ3mm的压电电机、电磁电机、微测试仪器和微操作系统。上海冶金研究所研制出了微电机、多晶硅梁结构、微泵与阀。上海交通大学研制出Φ2mm的电磁电机,南开大学开展了微型机器人控制技术的研究等。
    
    我国有很多机构对多种微型机械加工的方法开展了相应的研究,已奠定了一定的加工基础,能进行硅平面加工和体硅加工、LIGA加工、微细电火花加工及立体光刻造型法加工等。


责任编辑: 整理时间:2006-12-23 10:48:00
与“微型机械加工技术国内现状”相关的文章
·全国小电机行业研讨展示会将在南京举办
·上海机电:公布董事会决议及关联交易暨召开股东大会公告
·我国小功率电机技术水平与国外比肩
·电力危机使坦桑尼亚损失巨大
·专家释疑:磁悬浮列车为什么能离开轨道飞驰
·我国科技发展的国际比较及政策建议
·美国制造业:在创新中调整和发展
·半导体存储和MEMS成为SOI的杀手应用
搜索与“微型机械加工技术国内现状”相关文章
搜索文章:
对“微型机械加工技术国内现状”发表评论
会员名称:
匿名用户 ·注册用户·忘记密码?
密码:
评论内容:
(最多300个字符)
  查看评论
栏目最新
·微型机械加工技术国内现状
·全国小电机行业研讨展示会将
·上海机电:公布董事会决议及
·微型机械加工技术国内现状
·我国小功率电机技术水平与国
·电力危机使坦桑尼亚损失巨大
·专家释疑:磁悬浮列车为什么
·我国科技发展的国际比较及政
·美国制造业:在创新中调整和
·半导体存储和MEMS成为SOI的杀
Copyright @ 1996-2006 天津微电机网 Corporation, All Rights Reserved